Требования к вакууму в спектроскопии могут изменяться на несколько порядков по величине в зависимости от реакционной способности рассматриваемых поверхностей. При давлении порядка 10~9 торр один монослой газа адсорбируется на поверхности исследуемого кристалла в течение 103 сек в том случае, когда коэффициент прилипания равен единице. Однако, за исключением поверхностей металлов, коэффициент прилипания гораздо меньше единицы, и поэтому вакуум в Оже-спектрометре может быть меньше 10~9 торр. Как правило, не требуется очень высокого вакуума для решения большинства прикладных задач. Но в спектрометрах желательно не использовать диффузионных масляных насосов, так как углеводороды подвергаются эффективному крекингу под действием ионизирующего пучка электронов, и вследствие наличия паров масла в приборе на поверхности исследуемого образца возникает слой углерода.
